製品紹介

各種薄膜成膜加工 Film Coating

・熱酸化膜(ダスト保証品も可能です)
・Poly膜(ノンドープ、ドープド)
・チッカ膜(LP・プラズマ)※12"も対応可能です。
・TEOS膜
・BPSG膜
・TI、TIN膜
・CU膜
・W膜
・パターン加工膜
・多層膜加工膜
・各種IC種類
上記の膜厚につきましては、都度ご相談に応じます。(数量は各25枚からのご注文)
膜種 成膜方法 Φ 対応可能膜厚 Min受注数
プラズマTEOS プラズマCVD 6~12 ~1μm以上 25枚~
BPSG AP-CVD 6~12 ~2μm以上 25枚~
TiN スパッター 6~12 ~2,000Å以上 25枚~
Ti スパッター 6~12 ~2,000Å以上 25枚~
W (※1) スパッター 6~12 ~1μm以上 25枚~
Wsi スパッター   1μm以上  
Al スパッター 6~12 ~1μm以上 25枚~
Cu (※1) スパッター 6~12 ~1μm以上 25枚~
Si3N4 プラズマ&LP 6~12 ~1μm;5,000Å以上 25枚~
Poly-Si (doped) LP-CVD 6~12 ~<5,000Å以上 25枚~
Poly-Si (non-doped) LP-CVD 6~12 ~<5,000Å以上 25枚~
※1:要 下地膜
※:他の膜も加工可能です。