製品紹介

サファイアウェハー Sapphire Wafer

キロプロス、CZ、HEM他、各種製法のインゴット及びウェハーを、お客様の用途、スペックに合わせて供給致します。 モース硬度9を持ち、石英以上の高融解点(2.053℃)と耐プラズマ特性、さらに光学的・化学的・電気的にも優れた特性を併せ持つサファイアは、各種基板・窓・機構用部品の他、幅広い用途が期待されております。
2インチ 3インチ 4インチ 6インチ
材質 >99.996%高純度アルミナ
品質 欠陥フリー(No Crakes, Pores, Scratches, Inclusions, Twins)
直径 50.8±0.1mm 76.2±0.2mm 100.0±0.3mm 150.0±0.5mm
厚さ 430±15um 500±15um 650±20um 1300±30um
結品方位 C-plain(0001)±0.25°
1次オリフラ長さ 16.0±0.8mm 22.0±1.0mm 32.5±1.5mm 50.0±2.0mm
1次オリフラ方位 A-plain(11-20)±0.2°
TTV 10um以下 15um以下 20um以下 25um以下
LTV 10um以下 15um以下 20um以下 20um以下
TIR 10um以下 15um以下 20um以下 20um以下
BOW 10um以下 15um以下 20um以下 25um以下
Wrap 10um以下 15um以下 20um以下 25um以下
表面仕上げ Epi-ready(Ra<0.2nm)
裏面仕上げ 研削仕上げ(Ra=0.5~1.2nm)
洗浄・梱包 クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包