製品紹介

シリコンウェハー Silicon Wafer

装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、搬送テストなどの用途に使います。 モニターウエハーはもちろんのこと、各種サイズ、各種厚み、パーティクルウエハー対応致します。 P型/N型・オリフラ/Vノッチ・結晶方位などご要望に応じて対応致します。 各種膜ウエハーも小ロットからお受けいたしますのでお問い合わせください。 小口径2インチ~6インチモニターウエハーも格安で販売致します。 8インチから12インチモニターウエハーも格安で販売致します。 小ロットから対応いたします。 製品につきましては、下記規格表をご確認ください。 規格表以外にもお取り寄せ致しますのでお問い合わせください。 当製品についてのお問い合わせ・お見積りはお問い合わせ・お見積フォームからお願いいたします。

76mm 100mm 125mm 150mm 200mm 300mm 450mm(*)
直径許容差(mm) ±0.5 ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.2
ウェーハ厚さ(μm) 380 525 625 625 725 775 925
厚さ許容差(μm) ±15 ±15 ±15 ±20 ±20 ±25 ±25
厚さむら最大(μm) 25 10 10 10 10 10 10
フラットのオリエンテーション {110}±1° {110}±1° {110}±1° {110}±1° {110}±1° {110}±1° {110}±1°
フラット長さ(mm) 22 32.5 42.5 47.5 57.5 ノッチ ノッチ
フラット長さ許容差(mm) ±1.5 ±2.5 ±2.5 ±2.5 ±2.5    
フラット内接円径(mm) - - - - - 195.5 -
フラット内接円径許容差(mm) - - - - - ±0.2 -
ノッチ軸のオリエンテーション - - - - <110>±1° <110>±1° <110>±1°
ノッチ深さ(mm) - - - - 1 1 1
ノッチ深さ許容差(mm) - - - - +0.25,-0.00 +0.25,-0.00 +0.25,-0.00
ノッチ角度(°) - - - - 90 90 90
ノッチ角度許容差(°) - - - - +5,-1 +5,-1 +5,-1
*Single Carrier or FOSB